به منظور تعیین ریز ساختار مواد همواره نیاز به مطالعه ساختار توسط میکروسکپ های نوری و الکترونی هست. مطالعه سطح اچ شده فلزات و قطعات آلیاژی توسط میکروسکپ نوری همواره به عنوان یکی از ابتدایی ترین و مقرون به صرفه ترین روش های مطالعه ریز ساختار است.
معمولا در صورتی که نیازمند دریافت جزییات بیشتری از سطح فلزات و شناسایی فازها به همراه تعیین ترکیب شیمیایی دقیق آن فاز باشیم می توانیم از میکروسکپ های الکترونی پیشرفته (FE-SEM و SEM)که بدین منظور طراحی شده اند استفاده کنیم.
